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案例詳情
無塵室黃光區操作
日期：2025-07-14 15:04
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摘要：光學黃光區操作相關須知:
1、 濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區應注意溫度及濕度，並應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。
2、己上妥光阻，而在等待對準曝光之芯片，應放置於不透明之藍黑色晶盒之內， 盒蓋必須蓋妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區以免感光。
4、光罩使用時應持取邊緣，不得觸及光罩麵，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷，光罩之落塵可以氮氣吹之。
光學黃光區操作相關須知:
1、濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區應注意溫度及濕度，並應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。
2、己上妥光阻，而在等待對準曝光之芯片，應放置於不透明之藍黑色晶盒之內，盒蓋必須蓋妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區以免感光。
4、光罩使用時應持取邊緣，不得觸及光罩麵，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷，光罩之落塵可以氮氣吹之。
