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什么是微電子凈化工程解決方案相關
日期：2025-07-15 13:45
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摘要：什么是微電子凈化工程解決方案相關, 無塵車間梓成凈化在此與大家一起去探討一下。
一、微電子技術是建立在以集成電路為核心的各種半導體器件基礎上的高新電子技術，特點是體積小、重量輕、可靠性高、工作速度快，微電子技術對信息時代具有巨大的影響。
二、微電子無塵潔凈室三塵原則：
A、禁塵。即指整個無塵潔凈室內禁止有塵埃，而且還明文規定在多少范圍內的氣流多少。
B、帶塵。禁止人員帶塵進入無塵潔凈室，任何進入無塵潔凈室的人員全部能過風淋室緩沖通道吹淋后方可進入。（風淋室是員工進入潔凈室或無塵車間必備的凈化設備之一，它可以有效地減少員工進出潔凈室所帶來的污染問題，對進入無塵潔凈室車間中起到很大作用。）
C、產塵。禁止無塵潔凈室車間內部產塵，四周禁止有塵埃死角盲區，全部采用內、外圓弧收邊
三、微電子凈化工程解決方案相關：
A、微電子凈化工程一般包括：
1、潔凈生產區
2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、設備區（包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）
B、微電子凈化工程凈化參數：
1、換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
2、平均風速：10級、100級0、3－0、5m/s。
3、溫度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。
4、噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10％－30％；照度300LX。
C、微電子凈化工程結構材料
1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3、送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4、高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
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